线切割的加工误差可能来自机床精度（包括走丝系统）、材料的变形、计算的失误及机床控制的错误。明确原因就有可能消除误差。
① 计算失误：是人为的原因，可以通过回零检查，样板切割、数据分析进行验证。
② 机床控制错误：发生的可能性极少的，但如果因为外界电网电压干扰，或切割复杂四轴联动图形再遇到频繁短路回退时需要注意。有时步进电机进给速度太快，产生丢步也会产生图形的异常。在使用编控一体化系统时，最好使用前多复位几次。
③ 机床的精度：这通常是指机械精度，产生差值的最直接原因是拖板的直线度、垂直度误差。这个差值的范围应该在0.01～0.02mm以内，此数值是可以测量可以调整的，就现今机床结构来说，要使这个误差值控制在0.02mm以下是比较容易的，而要到0.01mm以下又比较困难，同时还需要兼顾走丝系统的稳定性问题，必须要保障电极丝的空间位置精度。
④ 材料变形：按切割要求对程序进行检查、回零检查、每段切割完毕进行坐标检查，那么剩下的误差就可能是工件变形产生的了。
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